최대 600×720 mm Size의 액정Glass기판의 고속 반송이 가능하여 높은 작업 처리량에 공헌.
Robot의 상하축Stroke 570 mm, Arm최대 리치 839 mm, 동작 속도는 상하축 400 mm/초, 회전축 250°/초로, 720 mm급 Size의 액정Glass기판을 고속으로 Cassette간 이동이나 Process처리 장치와의 Load/Unload가 가능합니다. 또한, 바닥으로부터 Glass Cassette내의 최하단Glass기판까지의 거리(Pass Line)는 1000 mm에 대응할 수 있습니다. 액정 Display제조 공정에서의 작업 처리량의 향상에 공헌합니다.
최단 경로의 직선 반송 동작으로 Tact time단축과 공간절약을 실현.
2개의 Arm의 길이가 동일한 관절동작으로, Arm끝단의 제어점과 Robot회전축중심이 겹치는 점(사점)을 통과시키는 것이 가능하여, 최단 경로의 직선동작과 최소의 선회 반경 동작을 실시할 수가 있습니다. Tact time단축 및 공간절약을 실현합니다.
|